• صفحه اصلی
  • اطلاعات نشریه
    • درباره نشریه
    • اهداف و چشم انداز
    • اعضای هیات تحریریه
    • اصول اخلاقی انتشار مقاله
    • بانک ها و نمایه نامه ها
    • پیوندهای مفید
    • پرسش‌های متداول
    • فرایند پذیرش مقالات
    • اطلاعات آماری نشریه
    • اخبار و اعلانات
  • راهنمای نویسندگان
  • مرور
    • شماره جاری
    • بر اساس شماره‌های نشریه
    • بر اساس نویسندگان
    • بر اساس موضوعات
    • نمایه نویسندگان
    • نمایه کلیدواژه ها
  • ارسال مقاله
  • داوران
  • تماس با ما
  • ورود به سامانه
    • ورود به سامانه
    • ثبت نام
  • English

نقش مقاومهای پلیمری درمیکرولیتوگرافی

نویسندگان

  • سعید پورمهدیان
  • فرامرز افشارطارمی
10.22063/jipst.1993.147

کلیدواژه‌ها

  • میکرولیتوگرافی
  • مقاوم پلیمری
  • وضوح
  • حساسیت
  • تمایز جلوه

عنوان مقاله [English]

Polymer Resists in Microlithography

نویسنده [English]

  • F.Afshar Taromi
مجله علوم و تکنولوژی پلیمر
دوره 6، شماره 2 - شماره پیاپی 2
خرداد و تیر 1372

فایل ها

  • XML
  • اصل مقاله 146.47 K

هم رسانی

ارجاع به این مقاله

  • RIS
  • EndNote
  • Mendeley
  • BibTeX
  • APA
  • MLA
  • HARVARD
  • VANCOUVER

آمار

  • تعداد مشاهده مقاله: 6,041
  • تعداد دریافت فایل اصل مقاله: 2,806

APA

پورمهدیان, سعید, & افشارطارمی, فرامرز. (1372). نقش مقاومهای پلیمری درمیکرولیتوگرافی. مجله علوم و تکنولوژی پلیمر, 6(2), -. doi: 10.22063/jipst.1993.147

MLA

سعید پورمهدیان; فرامرز افشارطارمی. "نقش مقاومهای پلیمری درمیکرولیتوگرافی". مجله علوم و تکنولوژی پلیمر, 6, 2, 1372, -. doi: 10.22063/jipst.1993.147

HARVARD

پورمهدیان, سعید, افشارطارمی, فرامرز. (1372). 'نقش مقاومهای پلیمری درمیکرولیتوگرافی', مجله علوم و تکنولوژی پلیمر, 6(2), pp. -. doi: 10.22063/jipst.1993.147

VANCOUVER

پورمهدیان, سعید, افشارطارمی, فرامرز. نقش مقاومهای پلیمری درمیکرولیتوگرافی. مجله علوم و تکنولوژی پلیمر, 1372; 6(2): -. doi: 10.22063/jipst.1993.147

دسترسی سریع

  • صفحه اصلی
  • درباره نشریه
  • اعضای هیات تحریریه
  • ارسال مقاله
  • تماس با ما
  • واژه نامه اختصاصی
  • نقشه سایت

آخرین اخبار

  • واژه‌نامه پلیمر 1403-04-13
  • لزوم رعایت اصول اخلاقی در نگارش مقالات و گزارش‌‌های علمی 1392-02-25
  • ضریب تاثیر مجله و ضرورت ارجاع به مقالات مجله 1392-02-07

This work is licensed under an Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International (CC BY-NC-ND 4.0)
MSRT-CODE : 1405023ed6bdb26

 

اشتراک خبرنامه

برای دریافت اخبار و اطلاعیه های مهم نشریه در خبرنامه نشریه مشترک شوید.

  • © سامانه مدیریت نشریات علمی. قدرت گرفته از سیناوب